Englische Abkürzung für energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse
Die in einem Rasterelektronenmikroskop auf die Probenoberfläche treffenden Elektronen regen die dort vorhandenen Atome zur Aussendung von Röntgenstrahlung an. Die Energie dieser Strahlung ist charakteristisch für jedes Element und ihre Intensität ein Maß für dessen Gehalt in der untersuchten Probenstelle. So kann die Elementzusammensetzung in kleinen Bereichen (Auflösung etwa ein bis einige Mikrometer) bestimmt werden.